除害装置

除害装置には、燃焼式、プラズマ式、ヒーター式、乾式、触媒式と様々な方式のシステムがあります。Point Of Useとしての除害は、各プロセス（ドライエッチング、CVD）の複数チャンバーと接続されており、除害効率向上が求められています。その除害効率を測定する手段として、HORIBA製品のインライン式INDIRガスモニタ IR-400シリーズや、EPA430プロトコルに記載している四重極形質量分析計 Micropole System QLシリーズがお客様の測定力・検出力強化に貢献します。