Lithography

フォトマスク製造ラインやデバイスメーカーの露光工程での生産効率向上・歩留まり向上に貢献できる製品を提供しています。フォトマスク用異物検査装置をはじめ、マスク製造プロセス向各種製品から、ペリクル、レジスト等材料解析用製品まで幅広くラインアップをそろえています。