結晶欠陥/不純物/応力評価装置

フォトルミネッセンス法は、化合物半導体の組成、欠陥、量子井戸、不純物、結晶性を非破壊・非接触で評価できます。シリコン半導体では、シリコン中の微量不純物分析に用いられます。

分光器メーカーならではのカスタマイズ力により、基礎研究から品質検査のためのマッピング測定まで、幅広いニーズに対応可能です。