プラズマモニタ

プラズマプロセスの状態を監視し、エンドポイント検出やプロセス制御に利用するモニタリング・制御機器をラインアップしています。
プラズマ発光の監視によるプロセス管理や、マスフローコントローラにフィードバック制御する製品をご用意しています。