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椭圆偏振光谱仪表征有机半导体的光学特性

Thin Film Measurement Capabilities.

Spectroscopic Ellipsometers are optical thin film measurement tools for determining film thickness and optical constants (n,k) of thin film structures.

椭圆偏振光谱是一种无损光学薄膜测量工具,用于测定膜层厚度和光学常数(n,k)。该技术广泛应用与微电子、平板显示、光电子、光伏、照明、光学及功能材料、生物技术等领域。

椭圆偏振光谱仪的优势:

  • 无损分析技术
  • 无样品制备
  • 操作简单、分析速度快
  • 无需参比测量
  • 对超薄膜测量非常敏感,低至 1Å
  • 适用于单层和多层薄膜测量
  • 多层结构样品表征信息丰富(界面、粗糙度、梯度、各向异性等)
  • 直接准确的获得光学常数(n,k)

与其它光学计量设备相比,椭偏仪的独特优势在于其操作简单,测试精度高,通过光学常数表征获得物理和材料信息。

椭偏仪是测量光学常数(n、k)的常用工具,光学常数的精度在10的负3次内。

通过光学常数可获得如下信息:

  • 材料的电子特性,如带隙
  • 吸收系数α
  • 材料的光学梯度和各向异性

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