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Spectroscopic Ellipsometers are optical thin film measurement tools for determining film thickness and optical constants (n,k) of thin film structures.
椭圆偏振光谱是一种无损光学薄膜测量工具,用于测定膜层厚度和光学常数(n,k)。该技术广泛应用与微电子、平板显示、光电子、光伏、照明、光学及功能材料、生物技术等领域。
椭圆偏振光谱仪的优势:
与其它光学计量设备相比,椭偏仪的独特优势在于其操作简单,测试精度高,通过光学常数表征获得物理和材料信息。
椭偏仪是测量光学常数(n、k)的常用工具,光学常数的精度在10的负3次内。
通过光学常数可获得如下信息:
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