DZ-100

DZ-100 Ultra Thin Mass Flow Controller

紧凑型质量流量控制器

DZ-100 继承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同标准技术 — 粘性层流范围压差检测系统。该技术实现对各种气体的质量流量进行高精度控制。与 D500 一样,用户可配置 DZ-100,支持多量程和多气体应用。MFC 设计紧凑,减少了内部气流通道占用的内部体积,同时采用优化控制算法改善了响应特性。该设备使用处理能力较高的紧凑型中央处理器(CPU)。压电驱动电路和控制中央处理器安装在 MFC 模块中,而电源组件布置在单独的小控制箱中。连接专用微型连接器,最多可以控制四个 MFC 。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

• 快速响应(≦0.4 秒)

• 紧凑型(宽:10mm,高:99mm)

• 供给工作压力范围宽

ModelDZ-114S
SpecificationHML
Full-scale flow rate (N2 conversion flow rate)80 SCCM ~ 2.9 SLM53 SCCM ~ 1.7 SLM11 SCCM ~ 450 SCCM
Operating inlet pressure370 ~ 900 kPa (A)240 ~ 369 kPa (A)110 ~ 239 kPa (A)
Operating differential pressure> 350 kPa (D)> 240 kPa (D)> 110kPa (D)
Operating downstream pressure≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A)≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A)≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A))
Control range1.0 ~ 100% F.S.2.0 ~ 100% F.S.2.0 ~ 100% F.S.4.0 ~ 100% F.S.5.0 ~ 100% F.S.10 ~100% F.S.
Flow rate accuracy *1,*2

±0.5% S.P. (20 ~ 100% F.S.)

±0.1% F.S. (1 ~ 20% F.S.)

±0.5% S.P. (40 ~ 100% F.S.)

±0.2% F.S. (2 ~ 40% F.S.)

±1.0% F.S. (5 ~ 100% F.S.)
Offset / Span stability±0.5% F.S. / year±1% F.S. / year±5% F.S. / year
Repeatability *1±0.3% S.P.
(10 ~ 100% F.S.)
±0.03% F.S.
(1 ~ 10% F.S.)
±0.3% S.P.
(20 ~ 100% F.S.)
±0.06% F.S.
(2 ~ 20% F.S.)
±0.3% S.P.
(20 ~ 100% F.S.)
±0.06% F.S.
(2 ~ 20% F.S.)
±0.3% S.P.
(40 ~ 100% F.S.)
±0.12% F.S.
(4 ~ 40% F.S.)
±0.3% S.P.
(5 ~ 100% F.S.)
±0.3% S.P.
(10 ~ 100% F.S.)
Valve typeNormally Closed / Piezo Actuator
Step-up flow response time *3,*4≦ 0.4 sec
Valve seat leak< 0.5% F.S.< 1.0% F.S< 2.0% F.S.
Proof pressure1.0 MPa (A)
Leak integrity≦ 5.0 × 10-12 Pa m3/sec (He)
Wetted materialsSUS316L, Ni-Alloy, PFA, PCTFE
Operating temperature15~45°C
Storage temperature0~80°C
Mounting orientationAttitude Insensitive
Temperature measurement accuracy±1°C (15~45°C)
Warm-up operation time> 30 minutes
Control interface *5DeviceNetTM Protocol
Power supplyMaster 1 PC, Slave (DZ-114S) 1PC : 8.2 VA (Slave 4.8 VA/PC) Up to 4 Slaves can be connected

*1 Flow rate accuracy and repeatability are guaranteed only for calibration gas and calibration full scale. (Outlet < 13.3 kPaA)

*2 Temperature range in which “accuracy” is guaranteed is in accordance with SEMI: E56-0309.

*3 Settling time is MFC output signal and N2 gas. Other detail definition follows settling time of SEMI Standard E17-1011 Section 4.1.4.

*4 Step up response time is confirmed in manufacturing calibration condition. Actual response time will be gas, flow and pressure dependent.

*5 Refer to the “DZ-114S DeviceNet™ Communication Manual” for details of communication.

ModelDZ-104M
Operating temperature15 ~ 45°C
Storage temperature0 ~ 80°C
Installation orientationAttitude Insensitive
Control interfaceShield type micro-connector (M12), DeviceNetTM Protocol
Connection interface4 Port interlocking position : Bottom of main body

DZ-104M Shield Type Micro Connector (M12)

Pin NumberSignal NameSpecification
1Drain-
2V+11-25 VDC, Rated Voltage: 24V
3V-
4CAN_HDeviceNetTM Protocol
*During the series of operations, the rated voltage is used. Use power supplies and cables that are conplance with ODVA.

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