SEC-Z700X 系列

Pressure Insensitive Mass Flow Controller SEC-Z700X Series

压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列配备了可靠的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

压力补偿
新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。

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事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 多气体/多范围功能
    客户可以更改气体类型和满量程流量。
  • 可变 PID 功能实现整个流量范围内的高速响应(1 秒内)
  • 紧凑型气体管线
    无需调节器、传感器和过滤器
  • 稳定控制气流,不受上流和下流压力波动的影响。
  • 集成入口压力传感器
  • 集成多重显示
  • 确保 1% 设定点精度
  • 超洁净设计:金属隔膜,全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
  • 尺寸紧凑
    50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
  • 信号兼容
    模拟/RS485 数字模式,DeviceNet™ 通讯模式
  • 网络功能
    数字信号控制

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