FS-3000

热式气体分流器

FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器(MFC)和 MuCube(主控制器)的功能。通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC,FS-3000 实现了稳定的分流控制。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制

控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制,同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外,即使分流比改变,控制算法也能实现对分流的高速响应。

  • 提高可扩展性、维护性能。FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。若 MFC 出现故障,仅需更换故障从机即可。
  • 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。此外,FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。
Channels2-15 ChannelsOperating temperature5-50°C (recommended range: 15-45°C)
Introducing flow rateDepends on channels and introducing flow rateProof pressure1000 kpa (G)
Ratio setting rangeDepends on channels and introducing flow rateMounting orientationFree
Supply pressure conditionDepends on channels and introducing flow rateControl interfaceRS-485, DeviceNetTM
Valve typeO: Normally open C: Normally closePower supplyMaster, Slave DC24V
(Conforming to ODVA standards)
Response *Depends on channels and introducing flow rate  

*The response time of each channel is calculated with the response time being the time when the flow rate output of this product reaches 98% of the flow rate setting change amount. The slowest response time is the response time of the flow splitter.

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