SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。

SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

基本特征

  • 多气体/多量程功能,客户可以更改气体类型和满量程流量
  • 稳定控制气流,不受上流和下流压力波动的影响
  • 集成多重显示
  • 超洁净设计:金属隔膜,全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
  • 尺寸紧凑,50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
  • 信号兼容:支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式

 

主要特征

  • 确保 1% 设定点精度(流量≥5%)
  • 高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)
  • 范围控制广(0.5-100% 满量程)
  • 可调响应(300ms≤t≤1000ms)
  • 高操作温度(15-60℃)
  • 低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)
  • 高耐腐蚀性设计
ModelSEC-Z714SMG *10 / SEC-Z717SMG *11SEC-Z724SMG *10 / SEC-Z727SMG *11
Full-scale flow rate
(N2 conversion flow rate)
MR.MG number
#01 : 30 SCCM

MR.MG number
#02 : 100 SCCM

#03 : 300 SCCM
#04 : 1 SLM #05 : 3 SLM

MR.MG number
#06 : 10 SLM
MR.MG number
#07 : 30 SLM
#08 : 50 SLM
Flow rate accuracy *1 *2≤± 1.0 %S.P. (Flow rate ≥ 5 %) ≤± 0.05 %F.S. (Flow rate < 5 %)
Linearity *1≤± 0.5 %F.S.
Repeatability *1 *3≤± 0.15 %S.P. (Flow rate ≥ 5 %) ≤± 0.0075 % F.S. (Flow rate < 5 %)
Zero point temperature effect≤± 0.01 %F.S./℃
Span temperature effect≤± 0.05 %F.S./℃
Zero point output stability *4≤± 0.3 %F.S./year
Flow rate control range0.5-100 %F.S. Auto close function : ≤ 0.25 %F.S.
Step-up flow response time *5450 ± 30 ms (0 %F.S. → 5 %F.S. < T ≤ 100 %F.S.) ≤ 600 ms (0 %F.S. → 2 %F.S. < T ≤ 5 %F.S.) ≤ 1 s (0 %F.S. → 0.5 → F.S. < T < 2 → F.S.)
Step down flow response time *5450 ± 30 ms (100 %F.S. → 10 %F.S. < T ≤ 80 %F.S.) ≤2 s (100 %F.S. → 0.5 %F.S. < T ≤ 10 %F.S.) ≤200 ms (100 → F.S. → 0 %F.S. (Valve closed))
Flow response time adjustment
(Tunable Response) *5 *6
Tunable range 300 ms ≤ T ≤ 1000 ms (0.3 s ≤ T ≤ 1 s)
Adjustment accuracy User specified time ± 50 ms (± 0.05 s)
Supply pressure condition≤ 450 kPa (G)
Operating differential pressuremax400 kPa (D)
min100 kPa (D) (Supply pressure < 150 kPa (A))
50 kPa (D) (Supply pressure ≥ 150 kPa (A))
100 kPa (D)200 kPa (D)
Proof pressure1 MPa (G)
Flow rate at fully closed control valve *7≤ 0.1 %F.S.(N.C.valve) ≤ 0.2 %F.S.
(N.O.valve) ≤ 0.5 %F.S.
Pressure transient sensitivity *8≤± (1.5 %F.S. + 1.5 %S.P.)≤± 1.0 %F.S.
Pressure measurement accuracy≤± 3.5 kPa (Measurement range : 0-700 kPa (A))
Operating temperature *915-60℃
Temperature measurement accuracy≤± 2℃ (Measurement range : 15-60℃)
Leak integrity

≤ 5 × 10-12 Pa • m3/s (He)

Valve typeNormally closed : N.C. Normally opend : N.O.
Wetted materialsSUS316 L, Ni-alloy, PFA (Bin#01-#04)
Fitting

1/4 inch VCR equivalent fitting-to-fitting dimension 124 mm

1.125 inch C-Seal Port-to-port dimension 92 mm

1.125 inch W-Seal Port-to-port dimension 92 mm

Communication interface

M12 (5 pin) male connector DeviceNet™protocol *10

RJ45 connector × 2

EtherCAT®protocol *11

Service communication port

φ2.5 port

Dedicated RS-485 communication

Power supply

M12 (5 pin) male connector 24 VDC, 7.5 VA Applicable for ODVA standard *10

M8 (5 pin) male connector

24 VDC ± 4 V, 7.5 VA *11

Weight1.3kg *10   /   1.1kg *11
Mounting orientationFree
Warm-up operation time≥ 60 minutes
Storage temperature0-80℃ (Non condensing)

*1: Value applicable to a calibration gas (N2) or the gas types measured with our benchmark equipment. *2: Flow rate accuracy with the ambient temperature at 23 ± 2℃ (in compliance with SEMI E56-0309). *3: Complies with
"repeatability" as defined by SEMI E56-0309. *4: Zero point output stability in compliance with SEMI E69-0298. *5: The response time is defined as the time that it takes for the product's flow rate output to reach 98 % of the amount of
the change set for the flow rate. For any change in flow rate control to 0 %F.S. (valve closed), the response time is defined as the time it takes for the product's flow rate output to reach 0.5 %F.S. *6: The value in our conditions as
based on the use of a calibration gas (N2). *7: Flow rate when the control valve is fully closed and a calibration gas (N2) is supplied at 450 kPa (G). *8: Flow rate variation amount where a 2 psi pressure change (in compliance with
SEMI F64-0701) occurs in a 1second period when flow rate control is applied between 5 %F.S. and 100 %F.S. in our conditions as based on the use of a calibration gas (N2). *9: The product's temperature output constitutes the
benchmark. The product's temperature may rise higher than the environmental temperature if a source of heat exists in the vicinity of the product or if multiple units of the product have been installed in close proximity to each other.
*10: DeviceNet™ communication model. *11: EtherCAT® communication model.

  • In notation of pressure unit, (D) shows differential pressure, (G) shows gauge pressure, (A) shows absolute pressure. ???? SCCM, SLM are symbols representing the gas flow rate (ml/min, l/min, at 0℃ 101.3 kPa).
  • % F.S.is the percentage of the set full scale flow rate. % S.P. is a percentage of the set flow rate setting.

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