用于真空紫外和软X-光波段范围的高质量反射镜

用于真空紫外和软X-光波段范围的高质量反射镜

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用于同步辐射光束线中的反射镜和光栅一样,都需要高的面型精度和小的表面粗糙度等.

为了控制衍射光栅基底的加工质量,HORIBA Jobin Yvon开发研制了一套光学元件精密抛光的专门设施.

这些光学抛光设施除了加工光栅的基底外,也能加工用于真空紫外和软X-光波段范围的高质量反射镜.

HORIBA Jobin Yvon特别强调控制加工过程中的每一个环节的加工质量。因此HORIBA Jobin Yvon能够检测和分析相关环节的误差因素,并在下一个加工环节采用相应的方法进行矫正。面型误差通过干涉仪检测,有关检测结果可以和长程面型仪(LTP)的测试结果进行对比。在面型的粗加工中,表面粗糙度用Nomarski显微镜检测。表面粗糙度的最后检测通过MicroMap干涉显微镜检测。这些检测将保证光学元件的加工质量和客户的需求是一致的.

HORIBA Jobin Yvon除了提供下列标准的平面、球面、柱面和超环面反射镜,也可以按照用户技术要求进行定制加工.

HORIBA Jobin Yvon可以加工:

  • 材料:单晶硅, 气相沉积碳化硅,熔融石英,零膨胀玻璃
  • 面型:平面、球面、柱面和超环面反射镜。
  • 面型误差:小至0.5μrad (0.1 arcsec)
  • 表面粗糙度:小至0.2nm
  • 镀膜材料:Pt, Au, C, Ni