超环面离子束刻蚀全息原刻光栅

TGS 300 Toroidal Grating Spectrograph

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具有优良性价比,用于真空紫外波段,集聚焦/色散于一体的光学系统

全息记录工艺是非接触式加工技术,它可以在非球面面型上产生光栅条纹。HORIBA Jobin Yvon已经开发出记录,加工,测试超环面衍射光栅的全部技术。超环面光栅把超环面反射器具有的离轴聚焦性能和光栅的色散性能结合在一起,用一个光学元件来完成。藉此,可获得结构简单的高通量单色器和摄谱仪设计.

在一些特定的使用场合,超环面衍射光栅可以设计为刻线密度在光栅长度方向上按照一定规律变化,以便减少或矫正像差。这种变线密度的光栅的条纹的产生是通过两束球面波在超环面光栅基底上干涉叠加得到的。通过光刻胶的曝光记录条纹图形,采用离子束刻蚀工艺把条纹转移到光栅基底上。这种技术(用于半导体工业)制造的层状光栅结构,可以减少高级次光谱的污染.

超环面光栅基底是在我们公司自己的光学加工实验室进行抛光和测试,以严格保证光栅的质量.

HORIBA Jobin Yvon的超环面衍射光栅是高通光效率真空紫外光谱仪性价比很好的解决方案.