Fuente

El plasma de GD analítico es un plasma denso - cerca de 1014 (partículas cargadas/cm3) - pero los iones incidentes que bombardean la superficie tienen una energía baja - cerca de 50 eV y debido a las colisiones múltiples no son unidireccionales. Éstas son las razones por las cuales tenemos una alta velocidad de arrancado, una resolución en profundidad excelente y un daño superficial bajo comparado con otras técnicas de erosión con haces de iones de alta energía.

En condiciones de funcionamiento medias, los metales se arrancan a una velocidad de 1-5 µm/minuto. Una capa de 100 nm se puede arrancar en 3s. Un tratamiento térmico sobre acero en el cual los elementos están difusos hasta 50 µm se podría comprobar en 10 minutos.