SEC-N100 Series

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

デジタルマスフローコントローラ 

10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲、デジタル・アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。 

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  • 選べる通信方式
    デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, EtherCAT®をラインナップ
通信方式駆動電源製品型式

デジタル通信

・RS-485 F-Net protcol

アナログ通信

・0~5VDC

±15VDC(±5%)SEC-N102 Series
DeviceNetTM通信ODVA規格SEC-N104 Series

CC-Link®通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC(13~32VDC)SEC-N105 Series

プロフィバス通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

プロフィバス規格

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106 Series
 
EtherCAT®通信

EtherCAT 規格

24VDC +/-4V

SEC-N107 Series

 

10 SCCMから1000 SLMまでのワイドな流量制御範囲 
流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

  • 高精度:±1.0% S.P.流量精度の向上
    セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
  • 全流量域にわたる高速応答:フルレンジ1秒以内
  • マルチガス/マルチレンジ機能を搭載
    ユーザーサイドでガス種・フルスケール流量を変更可能。

 

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
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Plasma Emission Control and Process Gas Monitoring for Dry Coating Process in Functional Glass Manufacturing
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HORIBA is one of the world's largest gas and liquid mass flow controller manufacturers, with a range of analogue, digital and high temperature mass flow controllers along with the point of use liquid source vaporization control and delivery systems.
Vacuum Monitoring in Dryer Equipment for Freeze Dry in Pharmaceuticals and Medicine Manufacturing
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Gas Mass Flow Control and Measurement for Reference Value of PM2.5 Measurement
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Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
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アクセサリ

CA-E Series
CA-E Series

変換アダプタ

DU-103K・DU-102E
DU-103K・DU-102E

表示ユニット

MFT-20
MFT-20

マスフローチェッカ

PE Series
PE Series

専用電源

PE-D10
PE-D10

モニタユニット

PE-D20
PE-D20

制御ユニット

PE-S7
PE-S7

多機能制御ユニット

SC-E Series
SC-E Series

信号ケーブル

SU-503ED・SU-502EA
SU-503ED・SU-502EA

設定ユニット

HORIBAグループ企業情報