サーマル方式PIマスフローモジュール SEC-Z700X Series

概要

信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。

特長

  • PI機能搭載
    急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
  • マルチレンジ/マルチガス機能
    ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能
  • フルレンジ高速応答1秒以内
  • レギュレータ、圧力計、フィルタが不要でガスラインのコンパクト化に貢献
  • 1次圧、2次圧変動の影響なし
  • Inlet Pressure Sensor 搭載
  • マルチディスプレイ機能搭載
  • 高精度
    1%S.P.での流量精度保証
  • ウルトラクリーン
    メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨標準
  • ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います。

製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

SEC-Z700X Series外形寸法図

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、LED
  • 研究・開発:半導体プロセスにおける微細化・大口径化開発

マルチガス・マルチレンジ フルスケール流量の一例

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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株式会社堀場エステック
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