SGD-SC Series

標準ガス分割器

一般に実験や研究に用いる混合ガスは、種類が多く組成も様々で比較的高価です。SGDはこのようなガスを手軽に混合し、調整することができるほか、組成の異なるガスも簡単に得られるため、様々な試験条件が容易に作り出せます。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

 

  • 2種類のガスを精度よく混合します。
  • 1本のボンベから5種類の濃度を作り出せます。

切換コックの操作だけで正確に濃度を切換えます。1本のボンベを5倍に活用することができます。

  • 電源が不要。
  • ガスを無駄にしない節ガスタイプです。

入口圧力によって出口の流量と圧力が変更できます。排気がないので高価なガスも有効に使用できます。

  • 安全機構内蔵

希釈ガスの供給が止まると自動的に成分ガスも止まります。毒性ガスも安全に使用できます。

  • 組合せ使用によってさらに用途が広がります。

組合せにより2段希釈装置や3成分混合装置として使用することができます。定比率希釈器や前段希釈器として各種機器に組込みも可能です。
 

・組み合わせ使用例

2段希釈装置

2台のSGDを直列に接続することにより最大25倍の希釈が可能です。高倍率希釈器として最適です。

3成分混合装置

2台のSGDを並列に接続することにより3成分の同時混合が可能です。植物同化試験や干渉影響試験模擬雰囲気の調整などに最適です。

 

 

 

SGD-SC-5L

適用ガス CO,CO2,C3H8,NO,NO2,SO2,O2/N2(AIR)など
接ガス部材質 ステンレス・バイトン
発生流量 2～5L/min
発生圧力 max70kPaG(出口の負荷により変化)
混合比 0,20,40,60,80,100%FS(注)
混合精度 ±0.5%F.S.
繰り返し性 ±0.2%F.S.
応答速度 10秒以内
使用温度 0～40℃
ガス消費量 発生流量と同一
ガス接続部 外形ø6/内径ø4　テフロン管用継手
重量 約２ｋｇ
電源 不要

 

SGD-SC-0.5L

 

適用ガス CO,CO2,C3H8,NO,NO2,SO2,O2/N2(AIR)など
接ガス部材質 ステンレス・バイトン
発生流量 0.2～0.5L/min
発生圧力 max70kPaG(出口の負荷により変化)
混合比 0,20,40,60,80,100%FS(注)
混合精度 ±0.5%F.S.
繰り返し性 ±0.2%F.S.
応答速度 10秒以内
使用温度 0～40℃
ガス消費量 発生流量と同一
ガス接続部 外形ø6/内径ø4　テフロン管用継手
重量 約２ｋｇ
電源 不要

SGD-710C

 

適用ガス CO,CO2,C3H8,NO,NO2,SO2,O2/N2(AIR)など
発生流量 2～5L/min(入口圧力により可変)
発生圧力 max70kPaG(出口の負荷により変化)
濃度分割 0,10,20,30,40,50,60,70,80,90,100%F.S.(注)
分割精度 ±0.5%F.S.
繰り返し性 0.2％F.S.
分割操作 手動
応答速度 10秒以内
ガス消費量 発生流量と同一
外形寸法 W150×H163×D145　(W200×H195×D175)
重量 3.5kg(5.5kg)
電源 不要

 

(注)原料ガスの種類や濃度により混合比が異なる場合がありますが、流量測定による補正値を使用することができます。上記以外の仕様をご希望の場合は、あらかじめご相談下さい。

 

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〈カタログ〉SGD-SC Series

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