HORIBAは半導体製造プロセスにおけるDry、Wet、Lithographyの各プロセスや研究開発、品質管理、純水から排水までのユーティリティに向けて幅広く製品を提供しています。長年の経験を通じて培った独自の分析・計測・制御技術によるソリューションでお応えいたします。
ラマン分光分析装置（次世代半導体材料の評価）
カソードルミネッセンス測定システム（化合物半導体の評価）
マスフローコントローラ（エッチング工程での精度向上）
薬液濃度モニタ（各種薬液の高精度な測定）
異物検査装置／異物除去装置（露光工程での品質向上）
pHメーター/現場形工業用水質計（工場での適切な純水／排水管理）
