HORIBAは半導体製造プロセスにおけるDry、Wet、Lithographyの各プロセスや研究開発、品質管理、純水から排水までのユーティリティに向けて幅広く製品を提供しています。長年の経験を通じて培った独自の分析・計測・制御技術によるソリューションでお応えいたします。
ラマン分光分析装置(次世代半導体材料の評価)
カソードルミネッセンス測定システム(化合物半導体の評価)
マスフローコントローラ(エッチング工程での精度向上)
薬液濃度モニタ(各種薬液の高精度な測定)
異物検査装置/異物除去装置(露光工程での品質向上)
pHメーター/現場形工業用水質計(工場での適切な純水/排水管理)