超薄型マスフローモジュール　CRITERION DZ-100 Series

新開発の制御バルブと流路構造最適化により、10mm幅の薄型構造を維持したまま、最大流量20SLMまでの流量制御を実現しました。これにより、ガスボックスの省スペース化やガスライン増設を容易にし、エッチングのみならずCVD・ALDなど大流量を要する成膜プロセスにも対応します。

キャパシタンスマノメータ VG-200S

独自の電極構造により高精度・高安定な圧力測定を実現します。

全自動薄膜検査装置 Xtrology

信頼性の高い独自のセンサーを搭載し、非破壊・非接触の自動測定を可能にしたこのシステムにより、ウェハに関する膜厚・結晶化率・欠陥・異物検出といった様々な重要パラメーターをタイムリーに提供します。

フォトマスク異物検査/異物除去装置 PD Xpadionシリーズ

先端EUVプロセスでのペリクル検査、マスク欠陥検査装置を補完するパターン面検査、高速ガラス/ペリクル面検査など多様な機能を持つ半導体検査装置です。

半導体材料分析ソリューション

シリコン・化合物半導体から二次元材料まで、半導体材料の様々な分析装置をご提案します。

半導体工場モニタリングシステム各種

半導体製造現場の省力化・省人化・環境負荷低減に貢献する各種モニタリングシステムをご提案します。