VG-200S

キャパシタンスマノメータ　隔膜式真空計

プロセス中の圧力計測は、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽光発電パネル、ハードディスク、コーティング等の多くの産業で必要不可欠な技術です。キャパシタンスマノメータはダイアフラムと呼ばれる隔膜の両側の圧力差から生じた変位量を対抗電極との静電容量で計測し圧力に換算します。他の圧力計測方法と比べて、キャパシタンスマノメータは下記の特徴を有します。

絶対圧力計測
高精度・優れた安定性
ガスの種類に依存しない計測

HORIBAのキャパシタンスマノメータ VG-200Sは、自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。

事業セグメント: 半導体

製品分類: Dry Process Control

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

自己温調型で最小クラス
独自の電極構造により高精度・高安定を実現
ダイヤフラムを含む接ガス部にSUS316Lを採用
非加熱、55℃温調、100℃温調を選択可能
ワンプッシュRe Zero
供給電源　±15VDC、24VDC 対応
CE、RoHS 対応

Model	VG-211S		VG-221S
F.S. 測定レンジ	133.32Pa (A)	1.3332kPa (A) 13.332kPa (A) 133.32kPa (A)	133.32Pa (A)	1.3332kPa (A) 13.332kPa (A) 133.32kPa (A)
センサ部温調温度 *1	常温 (ヒーターなし)		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分解能	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
ゼロ温度係数	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% F.S. /°C	0.0025% F.S. /°C
スパン温度係数	0.05% R.S./°C	0.03% R.S./°C	0.03% R.S. /°C	0.02% R.S. /°C
応答時間	< 60msec
使用温度範囲 *3	10-50°C
接ガス部材料	SUS316L
加圧限界	300kPA (A)	350kPa (A)	300kPa (A)	350kPa (A)
出力信号	0-10VDC 負荷抵抗: 10kΩ以上
入出力コネクタ	D-Sub 15pin
電源電圧	+15VDC±5％、0.1A max. -15VDC±5％、0.1A max		+15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
	24VDC±5%, 2.4W max.		24VDC±5%, 22W max.
暖気時間	15分		60分 (55℃温調タイプ) 120分 (100℃温調タイプ)
オープンコレクタ出力	定格電圧: 30V　　定格電流: 50mA
Re-Zero 入力	無電圧接点入力接点開放電圧: 13V 最大接点電流: 1.3mA
標準継手 *4	KF16, 1/2inch VCR Female, ICF34, 1/4inch VCR Female