BHFモニタ CS-137

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

  • 約3秒という測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート
    約3秒という短い測定周期を実現。リアルタイムな濃度追随性を大幅に向上しました。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。
  • コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
    床面積従来比約2/3(*)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
    *当社製品CS-327との比較
  • 洗浄工程でのロット不良減少により歩溜まり向上
    モニタ出力を用いてBHF溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩溜まり向上に貢献します。
  • フルオート測定で、簡単管理を実現
    ユー ザはBHF溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用し水濃度も測定可能なた め、薬液の蒸発やウエハからの持ち出しによる水濃度値追従もでき、酸化膜エッチングのきめ細やかなコントロールが可能となります。
  • 万全の気泡対策により、連続測定が可能
    脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離するため、液を流した状態での連続測定が可能になりました。
  • DC24Vを採用し、高い安全性を実現
    電源は、低電圧DC24Vを採用し、約45Wと感電に対する安全性と省電力を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にBHF溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

価格

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形式CS-137-2103CS-137-1003
測定対象BHF(フッ酸/フッ化アンモニウム水溶液)
測定原理吸収分光法
濃度算出原理温度補償型多変量解析法

測定範囲
(質量%)		フッ化アンモニウム：15.0〜21.0%
フッ酸：0.00〜3.00%
水：76.0〜85.0%		フッ化アンモニウム：0.0〜10.0%
フッ酸：0.00〜3.00%
水：87.0〜100.0%
再現精度
(室温変化±1℃以内)
(質量%)		フッ化アンモニウム：±0.2%
フッ酸：±0.20%
水：±1.0%		フッ化アンモニウム：±0.3%
フッ酸：±0.25%
水：±1.0%

薬液条件

温度20〜30℃
流量20〜60mL/min
圧力0.10〜0.20MPa
測定周期最小で約3秒
設置温度20〜30℃
操作パネル1)濃度測定値表示：フッ化アンモニウム、フッ酸、水
2)アラーム表示(フッ化アンモニウム、フッ酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
3)アラーム値の設定(フッ化アンモニウム、フッ酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
シリアル入力RS-232C
1)濃度データ：フッ化アンモニウム、フッ酸、水
2)アラーム値の設定(フッ化アンモニウム、フッ酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
パラレル入力DC12〜30V(フォトカプラ絶縁)
パラレル濃度警報(有効/無効)
パラレル出力オープンコレクタ出力ON時最大電流：5mA、OFF時最大電圧：30V
1)アラーム出力(フッ化アンモニウム、フッ酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)装置異常(液漏れを含む)
3)測定中
アナログ出力4〜20mA(NH4F濃度、HF濃度の2出力)
電源DC24V±10%  2A
外形寸法205(W)×329(D)×269(H)
質量約11kg
取合配管寸法導入用、排出用ともに外径6mm(内径4mm)
配管継手日本ピラースーパータイプ

上記以外の測定範囲につきましては、ご相談ください。

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