MU-3000

1. 安定した濃度のガス発生
   質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を受けずに正確な濃度の混合ガスが発生できます。
2. 多様なガス種への対応
   マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施いただけます。
3. 簡単操作
   専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。
   プログラム機能を付帯していますので、お好みのレシピ作成が可能です。
4. 幅広い流量レンジに対応
   微少流量（数SCCM）から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。

運転モード

• Manual・・各MFCラインを手動で動作ができます。
• Auto・・あらかじめ設定したレシピ（プログラム）で動作します。
  ローカル：パソコンからのレシピスタート／レシピストップ（一時停止選択可能）
  リモート：外部信号によるレシピスタート／レシピストップ（一時停止選択可能）

表示機能

• 瞬時流量設定値／瞬時流量値／積算流量表示／総発生流量値／総発生流量積算値
• 発生ガス濃度値での設定・表示が可能。
• 電磁弁開閉状態
• レシピ動作状態表示（各ステップの回数中の残りステップが表示されます）

レシピ作成機能（プログラム機能）

1. 各ライン最大50STEPのプログラム作成が可能。
   （ランプアップ／ダウン機能付帯）
2. ループ機能付帯
3. レシピ記憶機能／レシピ確認機能

各流量のロギング機能

発生ガスの流量をロギングすることができますので、運用状態の記録を残すことができます。

MFC AUTO ゼロ機能

PCソフトより、AUTOゼロ設定が可能です。

アラーム機能

●流量異常　●外部異常警報　●通信異常

ワイドレンジMFCの搭載

Configration Software
本ユニットには、お客様にてガス種、流量レンジの変更が可能なMFCを搭載しています。
MFCを取り外すことなく、専用ソフト（Configration Software）にて簡単にMFCの仕様を変更することができます。
制御ソフトは、MFCのガス種・流量レンジを変更しても、自動でMFCの情報を読み込みますので、変更後の初期設定が簡単に行えます。

ガス種変更が簡単に

MFCのマルチガス機能により、ガス種の変更も簡単操作で実施可能です。コンバージョンファクターによる補正の必要がなく、正確な流量制御が可能ですので、複数のガスボンベを入替しながらご使用いただく場合に有効です。

ワイドレンジ濃度の発生

MFCのマルチレンジ機能は、混合ガスの発生濃度幅を、MFCを追加することなく、大幅に広げることが可能です。ワイドレンジな濃度で発生できる為、MFCのライン数低減が可能となり、コストダウンが可能です。


 

小型ガスミキサーの搭載

ガス混合部には、自社開発したガスミキサーを搭載しており、性質の異なるガスを混合する場合でも、均一に発生することができます。

機器構成

用途例

• 触媒・センサー等、各種試験の模擬ガス発生
• バーナーガス流量制御
• 分析計スパンガスの希釈
• 各種封入ガスの濃度制御

ご用命に際して

以下をご指示ください。
1. 総発生流量
2. 使用ガス種、発生濃度または、各ガスの流量
3. 発生二次側の圧力