Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
| 型式 | MV-2000 |
|---|---|
| 対応液種 | HCl, HFなどのステンレスを腐蝕する液体を除く |
| 設定温度 | 気化条件による（Control Valve : MAX.140℃ Vaporizer : MAX.200℃） |
| リーク規格 | 1 × 10-8 Pa·m3/s (He) 以下 |
| 内部リーク規格 | 1 × 10-6 Pa·m3/s (He) 以下 |
| 接ガス部材質 | SUS316L, PFA |
| 使用温度センサ | 熱電対 Kタイプ(CA) |
| 耐圧 | 1MPa (G) |
| 標準継手 | 液体入口：1/8 VCRタイプMale, キャリアガス入口：1/4 VCRタイプFemale, ガス出口：1/2 VCRタイプMale |
| 使用可能周囲温度 | 15 ～ 50℃ |
| オプション | 空圧弁（内部リーク規格： 1 × 10-9 Pa·m3/s (He) 以下） |
- 発生流量については、ご使用になる“液体材料”“発生量”“発生条件”等により違いが生じます。別途お打合せの上最適なモデルをご提案いたします。
- 本体内部に加温ヒータ、温度センサ、スイッチを搭載しています。仕様については別途ご確認ください。
