- 高波長分解能(1nm)で高スループット、入力開口数はF/2.3
- 広い波長範囲 (200nm-1000nm)内で、対称のピーク形状
- 微弱なプラズマ発光を高感度で検知→エンドポイントモニタに最適
- 検出器は電子冷却式か非冷却式のCCDの選択可能
- 裏面照射型のCCD検出器
- インターフェースUSB2, Eithernet もしくはEitherCAT
- 高スループットを実現するための独自光学設計
- 分光器に特化した高度なエレクトロニクス設計により、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高線形性を実現
アプリケーション
- プラズマ発光分光
- Optical Emission Spectrometry (OES)
- リフレクトトメトリー
- プロセスコントロール
- 品質管理
- ウェハ検査
※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。