Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
SEC-Z500X Series
デジタルマスフローコントローラ
ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。
±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです。
- マルチレンジ/マルチガス対応
ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 - ワイドレンジ
微少流量(5SCCM F.S)から大流量(500SLM F.S.)まで制御可能 - 高精度
±1.0% S.P.(セットポイント)保証 - 高速応答
フルレンジ1秒以内(T98) - コンパクトサイズ
面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。 - ウルトラクリーン対応
接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。
Optical Fiber Manufacturing Process in Electrical Equipment
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Sterilization Process in Food and Beverage Manufacturing
