SEC-Z700S Series

サーマル式マスフローモジュール

マルチパターニングが増える最先端の半導体プロセスにおいて、マスフローモジュールの性能は半導体製造装置のパフォーマンスに大きく影響します。流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-Z700S SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 流量精度
    ±1%S.P.保証(設定流量5〜100%F.S.(N2))
  • ワイドレンジ制御
    低流量域0.5%F.S.まで制御可能
  • バルブシャットオフ性能
    フッ素樹脂(PFA)を採用(Bin#01〜#04)
    全閉時流量0.1%F.S.以下
  • Tunable response機能
    調整可能範囲0.3秒以上 1秒以下
  • 動作可能温度
    使用可能温度15〜60℃
  • 性能ばらつきの低減
    繰り返し性±0.15%S.P.以内(設定流量5〜100%F.S.)
    流量応答時間450±30ミリ秒
  • ゼロ点安定性
    ±0.3%F.S./年以内
  • MRMG番号(Bin#)
    10SCCM〜50SLM F.S.まで9仕様で対応

アプリケーション

  • Atomic Layer Deposition(ALD)/ Atomic Layer Etching(ALE)
  • Particle Sensitive Epitaxial Process
  • ハロゲンガスアプリケーション

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