SEC-Z700S Series

サーマル式マスフローモジュール

マルチパターニングが増える最先端の半導体プロセスにおいて、マスフローモジュールの性能は半導体製造装置のパフォーマンスに大きく影響します。流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-Z700S SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。