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〈カタログ〉SEC-Z700X Series
外形寸法図（単位：mm）
SEC-Z700X Series
サーマル方式PIマスフローモジュール
信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。
- PI機能搭載
急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
- マルチレンジ/マルチガス機能
ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能 - フルレンジ高速応答1秒以内
- レギュレータ、圧力計、フィルタが不要でガスラインのコンパクト化に貢献
- 1次圧、2次圧変動の影響なし
- Inlet Pressure Sensor 搭載
- マルチディスプレイ機能搭載
- 高精度
1%S.P.での流量精度保証 - ウルトラクリーン
メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨標準 - ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います。
