UR-Z700 Series

Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700

デジタルオートプレッシャレギュレータ

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。
オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。 

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • ピエゾバルブと圧力センサを搭載し、瞬時の圧力変造においても安定した圧力制御が可能
  • 高速応答:0.5秒以内
  • 取付姿勢が自由はフリーマウントデザイン
  • 一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
  • ゲージ圧タイプ、絶対圧タイプより選択可能
  • デジタル/アナログ通信、DeviceNet™通信対応
  • RoHS指令対応
  • オールメタル構造のウルトラクリーン対応モデル

 

構成例・用途例

オートプレッシャレギュレータ UR-Z700 Series

 

 

UR-Z700 Series  仕様一覧

 

外形寸法図・他(単位:mm)

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

アクセサリ

CA-E Series
CA-E Series

変換アダプタ

DU-103K・DU-102E
DU-103K・DU-102E

表示ユニット

PE Series
PE Series

専用電源

PE-D10
PE-D10

モニタユニット

PE-D20
PE-D20

制御ユニット

PE-S7
PE-S7

多機能制御ユニット

SC-E Series
SC-E Series

信号ケーブル

SU-503ED・SU-502EA
SU-503ED・SU-502EA

設定ユニット

HORIBAグループ企業情報