VC Series

Direct Liquid Injection System VC Series

ダイレクトインジェクション

ノンキャリアタイプのコンパクトダイレクトインジェクション。高温対応のマスフローメータと組み合わせることで、キャリアガスなしに液体材料を瞬時に気化できるコンパクトシステムを構築できます。
システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメータ"または気化ガスの流量を計測する"高温用マスフローメータ"および気化システム"VC"を基本構成として、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィルター、加温ヒーターなどの機器をシステムアップいたします。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 超小型:従来比 1/5
  • 高速完全気化:供給される液体を瞬時に完全気化します。
  • 取付方向自由:どのような取付方向でも機能は維持します。
  • バブラータンク、気化タンク不要

 

 

VC Series 仕様一覧

 

外形寸法図・他(単位:mm)

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories

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