Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
ダイレクトインジェクション
ノンキャリアタイプのコンパクトダイレクトインジェクション。高温対応のマスフローメータと組み合わせることで、キャリアガスなしに液体材料を瞬時に気化できるコンパクトシステムを構築できます。
システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメータ"または気化ガスの流量を計測する"高温用マスフローメータ"および気化システム"VC"を基本構成として、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィルター、加温ヒーターなどの機器をシステムアップいたします。