Mass Flow Controller SEC-6470/6480 series

개요

대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.

독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.

기능

  • 1000SLM(N2)까지의 유량제어에 대응
  • Metal O-ring, 독자개발의 공압Metal Diagram Valve를 탑재(M타입)

제조원 HORIBA STEC