가스 농도 모니터 IR-300

개요

버블링 공급 라인용 인 라인 가스 농도 모니터. 재료 가스의 안정공급에.
LED 제조 프로세스나 광디바이스 제조 프로세스등에서 폭넓게 채용되고 있는 MOCVD(유기 금속 기상 성장법).
이 MOCVD 장치에는 액체/고체 재료가 이용되어 일반적으로는 버블링 방식에 의해 기화 가스로서 챔버에 공급됩니다. 이 재료 가스 공급 라인에 대하고, 안정된 성막 프로세스의 실현 때문에, 리얼타임의 가스 농도 모니터링이 중요해지고 있습니다.
가스 농도 모니터 IR-300 시리즈는, MOCVD 장치에 있어서의 재료 가스 공급 라인에 도입되어 인 라인의 고속 가스 농도 모니터링을 가능하게 했습니다. 재료 가스의 안정공급을 서포트합니다.

기능

  • 리얼타임 모니터링
    가스 농도 변화에 추종하는 응답 속도와 반복성
  • 복수검량선기능(옵션)
    최대 3 종류의 측정 가스/풀스케일 농도(=검량선)가 탑재 가능
  • 멀티디스플레이기능
    농도 모니터링이나 공급 라인의 정보를 현장에서 확인하기 위해, 본체 상부의 멀티 디스플레이와 모드 LED의 편성에 의한 멀티 디스플레이를 탑재.
  • 통신기능
    DeviceNet통신 및 디지털/아날로그 신호에 대응한 통신 방식을 서포트
  • 컴팩트&심플 설계
    양간 사이즈 124 mm설치 자세도 제한이 없는 컴팩트 설계입니다.

IR-300에서는, 고휘도・장수명인 광원의 채용과 전기신호 처리의 고속화에 의해, 응답 속도와 반복 성이 향상했습니다.(당사 종래비 2배 이상) 이것에 의해 가스 농도 변화에 추종하는 연속 인 라인 모니터링이 가능해졌습니다.
※덧붙여 안정된 모니터링 때문에, 측정전에는 제로 교정(1회/일 이상)의 실시를 추천 합니다

 

공급 재료 농도 변화의 모니터링
배압조압기로 버블러내의 압력을 조정하는 것으로써 변화하는 공급 재료 농도를 리얼타임에 모니터링 한 예를 나타냅니다


제조원 HORIBA STEC