악세사리

Compact Body에서 사용 빈도가 높은 기능을 집약한 제어 unit. 전면 패널로부터의 조작 가능.

Mass Flow Meter 전용의 Monitor Unit입니다.

Mass Flow Controller · Mass Flow Meter나 오토 압력 레귤레이터의 구동 전원 및 아날로그 제어시의 설정 기준 전압：5 VDC를 공급하는 Unit.

유량·압력 신호(0~5VDC)를 디지털 표시하는 Unit.

Mass Flow Controller용의 소형 표시·설정 Unit.

Mass Flow Controller에 이상이 발생한 경우는, 그 원인 찾기 위해 MFC의 시스템을 구성하고 있는 SEC·전원·표시기·설정기·케이블등의 이상이나 SEC 자체의 이상 원인을 발견하지 않으면 안됩니다.MFT-20에서는, SEC를 구동, 입출력하고 있는 전압을 모니터 하거나 MFT-20에 의해 제어하는 일로 SEC가 정상적인가를 체크할 수가 있습니다.따라서 SEC를 장치 배관으로부터 떼어내기 전에 신속하게 SEC의 트러블이나 전원등의 트러블을 확인할 수 있습니다.또, 본체에 내장하고 있는 포텐셜 메타에 의해 SEC를 제어하는 것도 가능합니다.