유량 제어기(MFC)

반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...

생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고...

MARK3시리즈는 Mass Flow Controller에 필요한 품질을 변형하지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다. 주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정해 양산하는 것으로써, 대폭적인 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의 안정제어와 반복제어용으로 최적입니다. 또 연구실용의 연속유량제어용으로도 알맞습니다.

대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.

독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.