Piezo actuator valve
개요
고속 응답의 Piezo Valve 를 내장해, 접가스부가 모두 메탈 구조로 Ultra clean 대응의 고순도 가스 공급계에 최적
Metal Seal 방식으로 가장 낮은 leak
가스 뿐만이 아니라, 액체의 유량 제어도 가능
기능
Ultra clean 대응：모두 메탈 구조를 채용
광범위는 유체 제어에 대응：미소 유량으로부터 대유량의 유체 제어가 가능
고온 대응 모델 구성：PV-1000 S/2000 S타입
RoHS 지령 적합
제조원 HORIBA STEC
사양
GHPV-1000
Flow Range | 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (Inlet:atmospheric pressure•Outlet:vacuum•N2equiv) |
|---|---|
Flow Control Range | 2 -100% F.S. |
Valve Type | normally open / close |
Input Signal | 0 - 5VDC |
Responce | less than 0.5 sec. |
Operating Temperature | 0 - 50 °C |
Operating Diffential Pressure | MAX. 300 kPa(a)(max,42psi) |
Pressure Resistance | 1MPa |
Leak Integrity | 5×10-12Pa•m3(He) |
PV-2000
Flow Range | 10/20 LM |
|---|---|
Flow Control Range | 2 -100% F.S. |
Valve Type | normally open / close |
Input Signal | 0 - 5VDC |
Responce | less than 0.5 sec. |
Operating Temperature | 0 - 50 °C |
Operating Diffential Pressure | MAX. 300 kPa(a)(max,42psi) |
Pressure Resistance | 1MPa |
Leak Integrity | 5×10-12Pa•m3(He) |
외형도
