Reticle/Mask Particle 검출 시스템

높은 가동률과 높은 안정성으로, 많은 반도체 제조 현장으로부터 높게 평가되고 있는 HORIBA의 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 장기간 안정적으로 가동되는 반송계와 높은 수율의 고성능 기능을 그대로 이어받아, Compact하게 Upgrade 한 것으로, Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD3입니다. 기존의(PR-PD2)와 비교해서 약1/2의 소형화를 실현한 동시에, 낮은 운용비를 실현 하였으며, 0.5μm의 검출 감도에 의한 넓은 범용성 및 Reticle/Mask 상의 이물 측정과 이물 검사에 필요한 폭넓은 요구에 만족하는 심플한 장치가 탄생했습니다.

PD시리즈의 고성능을 이어가면서, 한층 더 소형화 되었으며, 낮은 가격을 실현 하였습니다. reticle stockers 나 steppers, 세정 장치등의 장비와 결합이 가능합니다.

* reticle 반전 기구

* 0.5~50μm선택 가능

* 장비 내장/조합형

높은 수율로 효율적인 이물 검사•측정을 실현.

높은 가동률과 안정성 등, 수많은 고성능•고기능으로 많은 반도체 제조 현장에서 높게 평가되고 있는 HORIBA의 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 긴시간 안정적으로 가동되는 반송계와 고수율과 고성능 기능을 한층 더 독자적으로 개발한 신호 처리 방식에 의해 Pr-PD 시리즈중 최고 감도로 최소 0.35μm의 미세 이물 검출을 가능하게 한 것이, 이 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD2HR입니다.

각종의 스텝퍼 케이스에 대응하며, 최대 10단까지의 다단 소타나 기능과 함께 각종 통신 기능도 충실합니다. PD시리즈만이 가능한 넓은 범용성으로 Reticle/Mask 상의 이물 검출은 물론, 유리/Paticle 각 면을 고수율로 측정해, 모든 반도체 제조 라인의 제품 비율 향상에 뛰어난 성능을 발휘합니다

높은 수율로 효율적인 이물 검사•측정을 실현.

높은 가동률과 안정성 등, 수많은 고성능•고기능으로 많은 반도체 제조 현장에서 높게 평가되고 있는 HORIBA의 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 긴시간 안정적으로 가동되는 반송계와 고수율과 고성능 기능을 한층 더 독자적으로 개발한 신호 처리 방식에 의해 Pr-PD 시리즈중 최고 감도로 최소 0.35μm의 미세 이물 검출을 가능하게 한 것이, 이 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD2입니다.