椭圆偏振光谱仪表征非晶碳膜的厚度及光学常数

非晶碳膜（ɑ-C）和氢化非晶碳膜（ɑ-C:H）有许多优异的物理特性，如硬度、低摩擦、化学惰性、光学透明度、生物相容性、选择性吸收光子能力、光滑性和耐磨损性等。一直以来备受人们关注，被广泛应用与材料的表面改性和提高材料的摩擦学性能。

控制膜层的厚度和光学常数是优化涂层研发和工业用途的重要环节。椭圆偏振光谱可以表征非晶碳涂层，获得这些特性，还可以进一步了解表面粗糙度以及sp2和sp3键的比例。

此外，椭偏仪还可以获得该涂层“附着力”信息，在基材和涂层间存在界面。