椭圆偏振仪


薄膜测量产品线

椭圆偏光法是一种光学的、可以准确表征薄膜、表面和界面的无损测量技术。椭圆偏振光谱仪主要用于测量薄膜的厚度(从1Å 到 30µm) 和光学常数(n,k)。

椭圆偏振光谱仪

先进的技术,具备先进的薄膜表征能力,能提供高灵敏度和精度的测量。

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原位和在线椭偏仪

薄膜沉积与刻蚀过程的高精度、高速度监测和控制。

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薄膜的质量控制

新方案:薄膜厚度和光学常数的一键式测量!

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大面积测量系统

专为显示装置产业设计的系统,能处理第七代显示衬底。

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软件

DeltaPsi2 是基于通用图形用户界面(GUI)开发的新软件。设计目标是提供一个用户与仪器之间的直观的交互。这个多任务处理软件具备良好的多功能性,能用于离位和原位的配置并能驱动全自动椭偏仪。

 

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