
椭圆偏振仪
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
椭圆偏振仪
薄膜测量产品线

椭圆偏光法是一种光学的、可以准确表征薄膜、表面和界面的无损测量技术。椭圆偏振光谱仪主要用于测量薄膜的厚度(从1Å 到 30µm) 和光学常数(n,k)。
软件
DeltaPsi2 是基于通用图形用户界面(GUI)开发的新软件。设计目标是提供一个用户与仪器之间的直观的交互。这个多任务处理软件具备良好的多功能性,能用于离位和原位的配置并能驱动全自动椭偏仪。
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