Auto SE - 自动化薄膜测量工具

一键式全自动快速椭偏仪

Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。

Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。

Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单

Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

事业部: 科学仪器

产品分类: 椭圆偏振光谱仪

制造商: HORIBA France SAS

全自动流程，薄膜分析更容易
高性能系统
光斑可视化，微光斑可至25x60 µm
功能齐全和灵活
智能诊断

光谱范围：440-1000nm
光斑尺寸：7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
探测系统：CCD，分辨率2nm
样品台：真空吸盘，Z轴行程40mm
光斑可视系统：CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
量角器：固定角70°，也可选择66°或61.5°
多种附件可选
测试时间：<2s，常规为5s
准确性：NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
重复性：NIST 15nm ± 0.2 Å

发光二极管（LED）具有耗电量少、寿命长、色彩丰富、耐震动、易控等特点。1990年代以来，半导体照明技术不断突破，应用领域日益扩展。LED的电光转化效率取决于LED薄膜的结构和整体材料性能。椭圆偏振光谱可以准确测定LED器件的厚度和光学常数。用于研究和工业应用。厚度和折射率的准确控制对弈器件性能的优化和工业质量的控制至关重要。

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相较于LCD技术，OLED技术具有效率高、显示质量高、对比度高、能耗低等优点，在显示技术中发挥着重要作用。此外，OLED使用的是有机可回收材料，生态方面友好。然而要想提高器件的性能，还需要对其光学和结构特性有深入的了解。椭圆偏振光谱可以提供这些信息，它无损、灵敏度高，可以表征埃级厚的膜层，并提供有关表面状态的信息以及复合材料的微观结构等。

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椭圆偏振光谱是一种无损光学薄膜测量工具，用于测定膜层厚度和光学常数（n，k）。该技术广泛应用与微电子、平板显示、光电子、光伏、照明、光学及功能材料、生物技术等领域。与其它光学计量设备相比，椭偏仪的独特优势在于其操作简单，测试精度高，通过光学常数表征获得物理和材料信息。

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液晶调制椭圆偏振光谱是高精度表征化合物半导体AlGaN/GaN异质结构的优选技术。利用MM-16型椭偏仪可以测得几微米的薄膜厚度和光学常数。AlGaN的光学参数对于光电器件设计至关重要。此外光学参数可以建立标准曲线，快速测定AlGaN中Al的含量。椭偏仪同样适用于SiGe、II-VI或经典III-V族等其它化合物半导体。

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