椭圆偏振仪
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
应用报告
椭圆偏振光谱仪是精确测量单层薄膜和多层薄膜厚度和光学常数（n，k）的最佳工具。厚度测量范围从几埃到几十微米。先进材料特性的表征也同样可能，例如：各向异性结构、梯度和非均匀层，合金的组分等。
椭圆偏振光谱仪是精确测量单层薄膜和多层薄膜厚度和光学常数（n，k）的最佳工具。厚度测量范围从几埃到几十微米。先进材料特性的表征也同样可能，例如：各向异性结构、梯度和非均匀层，合金的组分等。
