应用报告

椭圆偏振光谱仪是准确测量单层薄膜和多层薄膜厚度和光学常数(n,k)的有力工具。厚度测量范围从几埃到几十微米。先进材料特性的表征也同样可能,例如:各向异性结构、梯度和非均匀层,合金的组分等。










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