薄膜厚度

椭圆偏振光谱仪能够测量从1埃米到大于30微米的单层膜和复杂多层薄膜的厚度。材料必须是透明或半透明的。由于金属和陶瓷薄膜的强吸收,这类材料的厚度测量范围限制在0.3微米以内。

单层膜
多层膜
单层膜
多层膜

 用于厚度均匀性的样品扫描(mapping)

只需简单地使用XY自动样品台,就可对整个样品结构中薄膜厚度均匀性进行扫描。