
椭圆偏振仪
See us at
- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
Auto SE的可视化系统
Auto SE 集成了MyAutoView光斑可视系统(专利技术),该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。
MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑,以确保各种类型的样品都能在正确的位置,以合适的光斑尺寸进行测量。
Auto SE 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。
样品类型 | MyAutoView光斑可视系统的优点 | 举例 |
图形化样品 | 对图形区域上的测量光斑直接观测. | |
玷污样品 | 直接观测样品上的测量光斑,以便选择测量位置. | |
透明样品 | -只有前反射时,直接选择 | |
粗燥样品或不均匀表面的样品 (有条纹、瑕疵) | 直接观测样品的测量光斑,以便选择测量点. | |
微结构样品 | 直接观测样品上能够表示0.8mm的细线特征的测量光斑. | |
圆柱状或球形的样品 | 直接观测在这种区域上用于光斑定位的平面。右图显示,光斑大小没有被优化到适合椭圆偏振的测量. | |
放在液体池、控温台等附件里的样品 | 对于放在液体池里的样品,测量定位变得非常容易(图示样品). |