Auto SE的可视化系统

Auto SE 集成了MyAutoView光斑可视系统(专利技术),该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。

MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑,以确保各种类型的样品都能在正确的位置,以合适的光斑尺寸进行测量。

Auto SE 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。

 

样品类型

MyAutoView光斑可视系统的优点

举例

图形化样品

对图形区域上的测量光斑直接观测.

玷污样品

直接观测样品上的测量光斑,以便选择测量位置.

透明样品

-只有前反射时,直接选择
-当不能忽略背面反射时,计算背面反射度

粗燥样品或不均匀表面的样品 (有条纹、瑕疵)

直接观测样品的测量光斑,以便选择测量点.

微结构样品

直接观测样品上能够表示0.8mm的细线特征的测量光斑.

圆柱状或球形的样品

直接观测在这种区域上用于光斑定位的平面。右图显示,光斑大小没有被优化到适合椭圆偏振的测量.

放在液体池、控温台等附件里的样品

对于放在液体池里的样品,测量定位变得非常容易(图示样品).