椭圆偏振仪
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
Auto SE的可视化系统
Auto SE 集成了MyAutoView光斑可视系统（专利技术），该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中。
MyAutoView允许操作者全程观测样品光斑，以确保各种类型的样品都能在正确的位置，以合适的光斑尺寸进行测量。
Auto SE 所提供的图像有大约1毫米的视场和10微米的分辨率,这对于大多数测量来说是非常必要的。
样品类型 | MyAutoView光斑可视系统的优点 | 举例 |
图形化样品 | 对图形区域上的测量光斑直接观测. |
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玷污样品 | 直接观测样品上的测量光斑，以便选择测量位置. |
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透明样品 | -只有前反射时，直接选择 |
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粗燥样品或不均匀表面的样品 （有条纹、瑕疵） | 直接观测样品的测量光斑，以便选择测量点. |
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微结构样品 | 直接观测样品上能够表示0.8mm的细线特征的测量光斑. |
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圆柱状或球形的样品 | 直接观测在这种区域上用于光斑定位的平面。右图显示，光斑大小没有被优化到适合椭圆偏振的测量. |
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放在液体池、控温台等附件里的样品 | 对于放在液体池里的样品，测量定位变得非常容易(图示样品). |
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