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〈カタログ〉CRITERION DZ-100 Series
超薄型マスフローモジュール
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。