VACUUM2026真空展
■日時：11月18日（水）- 11月20日（金）10：00～17：00
■会場：東京ビッグサイト 東ホール HORIBAブース V-60
四重極形質量分析計 Micropole System QL Series
真空チャンバーのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
プラズマを利用した薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出やプラズマのコンディション管理に最適です。
プロセス条件に応じてセンサ材質や温調仕様を選択できます。
真空チャンバー内の温度を非接触でリアルタイムに把握し、
プロセスの安定化に貢献します。
真空チャンバー内の異常検知、装置コンディション維持に貢献できる機器・技術のご紹介します。
このような課題をお持ちの方におすすめです！
・製品の品質のばらつきの極少化のために真空チャンバー内の状況・異常を見たい
・半導体製造装置のメンテナンス時期の把握によるダウンタイムの短縮を図りたい
・エッチングプロセスのエンドポイント検出によりスループット向上を目指したい
■日時：11月19日（木）13：30~14:10
■会場：東京ビッグサイト東2ホール内 出展者セミナー会場B [セミナーNo.B-08］
■堀場エステック：V-60
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
