VACUUM2026真空展
■日時：11月18日（水）- 11月20日（金）10：00～17：00
■会場：東京ビッグサイト 東ホール HORIBAブース V-60
四重極形質量分析計 Micropole System QL Series
真空チャンバーのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
プラズマを利用した薄膜プロセスにおいて、終点検出やプラズマのコンディション管理に最適です。
プロセス条件に応じてセンサ材質や温調仕様を選択できます。
真空チャンバー内の温度を非接触でリアルタイムに把握し、
プロセスの安定化に貢献します。
真空チャンバー内の異常検知、装置コンディション維持に貢献できる機器・技術をご紹介します。
このような課題をお持ちの方におすすめです！
・製品の品質のばらつきを最小限に抑えるために真空チャンバー内の状況・異常を見たい
・半導体製造装置の適切なメンテナンス時期を把握し、装置のダウンタイムを短縮したい
・エッチングプロセスの終点検出によりスループット向上を目指したい
■日時：11月19日（木）13：30~14:10
■会場：東京ビッグサイト東2ホール内 出展者セミナー会場B [セミナーNo.B-08］
■堀場エステック：V-60
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
