• PI機能 （Pressure Insensitive）
  急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
• マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
  ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
• 自己診断機能　G-Life　(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
  短時間：3秒以下（typical）で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。
• 高精度
  ±1% S.P.を実現
• 高速応答
  応答速度：0.8秒以内
• ワイドレンジ制御
  10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲
• 豊富な通信方式
  デジタル/アナログ通信モデル、DeviceNet™通信モデル、EtherCAT®通信モデルをラインナップ
   

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