Fotoluminescência e fotorefletância

Como resultado do rápido desenvolvimento na fabricação de semicondutores, muitos tipos de dispositivos optoeletrônicos, como diodos laser, LEDs e transistores de alta mobilidade de elétrons (HEMTs), são agora fabricados por métodos de crescimento epitaxial. Para melhorar e caracterizar sua qualidade, esses dispositivos são inspecionados opticamente. A espectroscopia de fotoluminescência (PL) e a espectroscopia de fotorrefletância (PR) estão entre os métodos ópticos mais importantes. PL e PR são técnicas sem contato e não destrutivas, e diferentes tipos de informações ópticas podem ser obtidos a partir de cada uma delas. A PL estuda os fótons emitidos por um material ou dispositivo quando excitado por uma fonte de luz externa.