亚微米

使用最佳的显微物镜,仔细挑选最合适的激光波长以及使用专业的压电控制成像平台,可以使显微拉曼分辨率逼近真正的光学极限,即远场衍射极限。压电控制平台能够提供超精细步长(步长取决于平台,可以低至10 nm以下),并且具有高重复性。

HORIBA Scientific拉曼系统的真共焦光路结合,能够实现500nm以下的空间分辨率,进而可以对特征物进行可靠的分析。

并非所有样品的空间分辨率都能达到理论上的亚微米水平,特别是对于透明样品,由于激光和样品之间有着显著并且复杂的相互作用,导致空间分辨率下降。尽管如此,对于很多样品而言,只需要比较简单的仪器和操作,就可以达到显微拉曼空间分辨率的极限值。

使用LabRAM系统对190nm纳米线分析获得的偏振拉曼成像,感谢D. Talaga (Université Bordeaux I, France)和 F. Lagugné Labarthet (University of Western Ontario, Canada)提供的数据。
使用LabRAM系统对半导体特征物进行分析获得的拉曼成像图,通过对Si峰强度进行解析获得样品的尺寸是250 nm和350 nm。样品由ATMEL ROUSSET( Université Paul Cezanne,法国)提供。