TRIOS测量模式

• 基本模式：
  • 接触模式
  • 半接触模式
  • 非接触模式
  • Top mode
  • 相位成像
  • 耗散力模式
  • 液体环境接触模式（可选）
  • 液体环境半接触模式（可选）

• 电学模式：
  • 单道/双道开尔文探针显微镜（KPFM）（含AM和FM两种模式）
  • 扫描电容显微镜（SCM）
  • 单道/双道电力显微镜（EFM）
  • 压电响应力显微镜（PFM）
  • 高电压PFM（可选）
  • PFM-top模式
  • 导电AFM（可选）
  • 高电压导电AFM（可选）
  • I-Top mode™ (（可选）
  • I-V谱（可选）
  • 光电流成像（可选）
  • 伏安特性测量（可选）

• 纳米力学模式：
  • 侧向力显微镜（LFM）
  • 力调制显微镜（FMM）
  • 力曲线测量（力-距离曲线、力谱和力成像）
  • 纳米蚀刻
  • 纳米操纵

• 特殊模式：
  • 单/双道磁力显微镜（MFM）
  • 可调磁场（可选）
  • 带音叉的剪切力显微镜（ShFM）
  • 带音叉的法向力显微镜（可选）

• 其他模式：
  • 可调磁场（可选）
  • 带音叉的剪切力显微镜（ShFM）

三位一体光谱学显微镜

• 同步光接入：
  • 底部照明，可用1.49 NA油浸物镜
  • 顶部照明，可用100×0.7 NA物镜
  • 侧向照明（可选），可用100×0.7 NA物镜
• 闭环压电物镜扫描器，保证光谱激光长时间准直
  • 扫描范围：30µm×30µm×10µm
  • 分辨率：1 nm

TRIOS扫描器

•  平板闭环扫描器：100µm×100µm×15µm（+/-10%）/可选扫描范围：200µm×200µm×20µm（+/-10%）
• 非线性：XY<0.05%，Z<0.05%
• 噪音：
  • XY<0.1 nm RMS，100 Hz带宽，电容传感器打开
  • XY<0.02 nm RMS，100 Hz带宽，电容传感器关闭
  • Z <0.1 nm RMS，1000 Hz带宽下，电容传感器打开
  • Z<0.03 nm RMS，1000 Hz带宽下，电容传感器关闭
• 高频扫描器：
  • XY谐振频率≥7 kHz（空载）
  • Z谐振频率≥15 kHz（空载）
• X、Y、Z轴的数字闭环控制

TRIOS基座

• 样品尺寸：大于等于50.8 mm×50.8 mm×5 mm（可选100 mm×100 mm）
• 手动样品定位范围：25 mm×25 mm
• 电动样品定位范围(可选)：22 mm×22 mm
• 电动SPM测量头定位范围：1.6 mm×1.6 mm
• 电动趋近量程：1.3 mm

TRIOS AFM 测量头

• 激光波长：1300 nm
• 激光对光电测量或生物样品无影响，避免拉曼应用中的光学干扰
• 全电动：4个步进电机，用于自动悬臂和光电二极管准直
• 为外部操作和探针提供自由通道

TRIOS 可选项

•  导电力模块：电流范围：100fA~10µA;三档量程自动切换（1 nA, 100 nA 和 10 µA
• 液体池/电化学液体池（液体可交换）
• 液体池温控：室温-60°C
• 环境保护罩
• 湿度控制系统：相对湿度10%-85%，湿度稳定性：±1%
• 温控模块：-50°C ~ +100°C
• 加热模块：室温~300°C/温度稳定性0.1°C；室温~150°C/温度稳定性0.01°C
• 正交力和侧向力音叉座
• STM针尖座
• 多信号输入模块

• Omega：
  • 自动准直悬臂-检测器激光
  • 具有标准测量技术预设参数的自动配置
  • 自动调整悬臂共振频率
  • 宏语言Lua，用于编程用户函数、脚本和小构件
  • 能用DSP宏语言对控制器进行实时编程，无需重新加载控制软件
  • 悬臂力常数校准（热法）

• IAPro：
  • 在坐标空间处理图像的能力，包括制作横截面、拟合和高达12级的多项式曲面减法；
  • FFT处理，具有在频率空间处理图像的能力，包括滤波和分析
• 处理：高达5000像素×5000像素图像。

控制器电子学

• 模块化、全数字、可扩展控制器
• 高速DSP 300 MHz
• ADC:20通道
• 扫描器位置传感器：高速500 kHz 18位ADC
• 5 MHz频率范围登记系统
• 2个锁相放大器，频率范围为5 MHz
• 6个数字32位发生器，频率范围5 MHz，分辨率0.018 Hz
• 7个步进电机控制
• 与外部设备集成的数字输出
• 与外部设备集成的模拟输入/输出