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Elipsómetro espectroscópico in situ para monitorización en tiempo real de película delgada
El elipsómetro espectroscópico in situ UVISEL Plus puede montarse fácilmente en cámaras de proceso (PECVD, MOCVD, sputter, evaporación, ALD, MBE) para el control en tiempo real de procesos de deposición o grabado de películas delgadas.
El UVISEL Plus in situ proporciona combinaciones únicas de velocidad, sensibilidad, rango dinámico y precisión muy altas, lo que permite al instrumento controlar la deposición/grabado a nivel de espesor de capa atómica, incluso para procesos rápidos.
Con nuestro nuevo kit de adaptación es posible utilizar el mismo elipsómetro para aplicaciones in situ y en la mesa en un goniómetro. Cambiar entre las dos configuraciones y alinear el sistema es extremadamente sencillo.
El elipsómetro in situ UVISEL Plus es impulsado por la plataforma de software DeltaPsi2, común a todas las herramientas de metrología de película fina HORIBA Jobin Yvon. El software proporciona capacidades de adquisición de datos en tiempo real y modelado/reprocesamiento. Protocolos de comunicación avanzados, incluyendo TCP/IP y RS232, han sido diseñados para entornos de producción y necesidades OEM.
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