ドライコーティング

プラズマ発光状態のモニタリング、ガス流量制御、ガス分圧モニタリングを組み合わせ、透明導電膜、反射防止膜などのドライコーティングプロセスにおける品質と生産性を向上することができます。

HORIBAは各プロセスに最適なソリューションを提案いたします。

プラズマコントローラ ： プラズマ発光状態を計測し、スパッタ装置への導入ガス流量を自動的に制御します。
コンパクトプロセスガスモニタ ： チャンバ内の微量ガスを計測。 常にベストなプロセス条件になるようモニタリングします。
マスフローコントローラ ： 正確なガス流量制御を実現します。

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