
ドライコーティング
プラズマ発光状態のモニタリング、ガス流量制御、ガス分圧モニタリングを組み合わせ、透明導電膜、反射防止膜などのドライコーティングプロセスにおける品質と生産性を向上することができます。
HORIBAは各プロセスに最適なソリューションを提案いたします。
プラズマコントローラ : プラズマ発光状態を計測し、スパッタ装置への導入ガス流量を自動的に制御します。
コンパクトプロセスガスモニタ : チャンバ内の微量ガスを計測。 常にベストなプロセス条件になるようモニタリングします。
マスフローコントローラ : 正確なガス流量制御を実現します。



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プラズマ発光強度をセンサーで捉え独自のアルゴリズムにより自社製高速応答マスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。