光ファイバ
現在のIT社会の基幹を担う光ファイバ等の合成石英生産プロセスにおいて、HORIBAの液体材料気化システムが数多く活躍しています。光ファイバ製造におけるプリフォーム形成において POCl 3、SiCl 4、GeCl4はバブラー方式やベーキング方式を用いい気化し、供給されます。
HORIBAは安定・連続発生が可能な生産設備へ、各種気化方式の液体材料気化システムを提案しています。
またHORIBAのマスフローコントローラは光ファイバ製造工程におけるプラズマトーチのガス流量を正確に制御します。
関連製品
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マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
これらの製品を組み合わせ、お客様のご要望に合わせたインジェクションシステムを提案いたします
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ＆メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。
これらの製品を組み合わせ、お客様のご要望に合わせたバブリングシステムを提案いたします
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。
半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。
