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気化条件と液体材料

液体材料を希望どおりに気化するためには、その材料特性や気化条件により最適な気化システムが必要です。HORIBA STECは「バブリング方式」「ベーキング方式」「直接気化方式」という3種類の気化方式を採用し、目的に応じた総合的なシステムとしてご提案。お客様の多岐にわたるご要望に的確にお応えします。

気化条件

主な液体材料

特殊な液体材料も正確に安定して気化でき、様々な用途や条件に応じたシステムが提案できます。

名称化学式毒性可燃性腐食性用途
純水H2O--- 
テトラエトキシシラン
(TEOS)
Si(OC2H5)4-半導体の絶縁膜
メタノールCH3OH-カーボンナノチューブ(CNT)の生成
エタノールC2H6O-カーボンナノチューブ(CNT)の生成
トリメチルガリウムTMGa◎※-LEDの発光層成膜
トリエチルガリウムTEGa-LEDの発光層成膜
トリメチルアルミTMAl-LEDの発光層成膜
ジエチル亜鉛
(DEZ)
Zn(C2H5)2-太陽電池やタッチパネル等の
透明導電膜(TCO)成膜
ヘキサメチルジシロキサン
(HMDSO)
(CH3)3SiOsi(CH3)3タッチパネル等の
ハードコート(HC)
トリクロロシラン
(TCS)
SiHCl3エピタキシャル成長/シリコン製造
テトラ-i-プロポキシチタン
(TTIP)
Ti(i-OC3H7)4タッチパネル等の
反射防止膜(ARC)
オキシ塩化リンPoCl3-結晶系太陽電池の発電層
四塩化チタンTiCl4-工具等のチタンコーティング
四塩化ケイ素SiCl4-光ファイバー等の合成石英
四塩化ゲルマニウムGeCl4-太陽電池やタッチパネル等の
透明導電膜(TCO)成膜
四塩化スズSnCl4-太陽電池やタッチパネル等の
透明導電膜(TCO)成膜

※ ◎ : 自然発火性


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