電子デバイス産業クリーンルーム内の分子状汚染物質監視
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定成分 | 大気中のアンモニア(NH3) |
| 形式 | 大気汚染監視用NOx 濃度測定装置: APNA-370 コンバータユニット： CU-2 |
| 測定レンジ | 0 〜 (0.1/0.2/0.5)/1 ppm または 0 〜 1/2/5/10 ppm |
| 最小検出感度 | 5 ppb |
| 繰返し性 | フルスケールの±2% |
| 直線性(指示誤差) | フルスケールの±2% |
| ゼロドリフト | フルスケールの±2%/日 |
| スパンドリフト | フルスケールの±2%/日 |
| 応答時間 | CU-2入口より90%応答 300秒以下 |
| 試料ガス採取流量 | 約3.0 L/min |
| 補助ガス | なし |
| 表示 | 測定値、アラーム |
| アラーム | APNA-370: 校正エラー、バッテリーエラー、流量エラー、圧力エラー、コンバータ温度エラー、電源断 |
| 入出力 | 0 〜 1 V (瞬時値および積算値または平均値の2系統) 接点入出力(レンジ、外部リセット、テレメータ故障、アラーム) RS-232C (オプション) |
| 周囲温度・湿度 | 0 〜 40°C・相対湿度 85%以下 |
| 外形寸法 | APNA-370: 430 (W) x 550 (D) x 221 (H) mm CU-2: 430 (W) x 450 (D) x 310 (H) mm |
| 質量 | APNA-370: 約21 kg CU-2: 約20 kg |
外形寸法図・他（単位：mm）
